-
سلسلة منتجات E-SCAN SCAN -1 مرحلة المسح بالنانو
نظام المسح الضوئي من سلسلة μSCAN هو نظام متكامل عالي الأداء أطلقته شركتنا مؤخرًا.تستخدم الماكينة بأكملها جرانيت عالي الصلابة كقاعدة ، وتتعاون مع محركات خطية عالية الأداء ومنصات مؤازرة ، وتستخدم بشكل أساسي للمسح الضوئي عالي الدقة والمعالجة والاختبار والتطبيقات الأخرى.يدعم اختيار معلمات الحد القياسية التسليم السريع ، مما يقلل بشكل كبير من عيوب المجموعة الناتجة عن عدم إلمام العميل بالتركيبة وأوجه القصور في الأداء الناتجة عن عدم الإلمام بالتصحيح.
-
E-LMT-XY (مرحلة المحرك الخطي عالية الدقة) مرحلة الحركة الخطية للمحرك XY
● مدى السفر 100 مم × 100 مم أو 200 مم × 200 مم
● إمكانية التكرار أحادي الاتجاه حتى 0.3 ميكرومتر
● محرك خطي ثلاثي الأطوار بدون حديد
● السرعة إلى 500 مم / ثانية تزايدي
● جهاز تشفير خطي بدقة 4.88 نانومتر
● موجهات الأسطوانة المتقاطعة
● المحركات الخطية
-
منصة عائمة جوية أحادية البعد E-ABW400-X
● مثالية لمسح التطبيقات أو تحديد المواقع بدقة عالية
● غرف الأبحاث متوافقة
● حجم منصة الحركة 400 مم × 138 مم
● يتراوح السفر من 200 مم إلى 1000 مم
● دقة تصل إلى 5 نانومتر
-
مرحلة تحمل الهواء المحور الرأسي E-ABVT-Z
نطاق الحركة العمودية 20 أو 38 مم (1/2 ″)
● القدرة على التكرار تحديد المواقع إلى 10 نانومتر
● قدرة تحميل تصل إلى 6 كجم
● خيار التشفير الخطي للقياس المباشر
● محرك صوتي
● قضبان تحمل الهواء ، يمكن أيضًا استخدام قضبان الكرة المستعرضة
-
منصة تحمل الهواء فائقة الدقة E-ABL250-X أحادية البعد
● مثالية لمسح التطبيقات أو تحديد المواقع بدقة عالية
● غرف الأبحاث متوافقة
● حجم منصة الحركة 250 مم × 90 مم
● يتراوح السفر من 100 مم إلى 600 مم
● قدرة تحميل تصل إلى 200 نيوتن
● تصميم محمل الهواء
● E-EC-ABL-X
● يتميز بمقطع عرضي أصغر من المراحل التقليدية التي تحمل الهواء دون التضحية بقدرة الحمل.توفر الأسطح الكبيرة الحاملة للهواء صلابة ممتازة ، مما يسمح بالحمل الثقيل.التصنيع الاحتكاري
● تؤدي التقنيات إلى مرحلة ذات خصائص غير مسبوقة للميل واللف والانعراج.
-
مرحلة حركة الهواء العائمة أحادية البعد E-EC-ABL-X
● محمل الهواء بالكامل مسبقا
● متوفر مع مسافة انتقال تصل إلى 1000 مم
● تغذية مرتدة خطية عالية الدقة
● تصميم كامل لعدم الاتصال
● تصميم فائق النعومة لاستقرار سرعة فائقة
-
مرحلة حركة المورتر E-NLS92-50-1V-BLinear مرحلة خطية عالية الدقة
● LS90-50-1V-B الميزات ؛
● محرك خطي رقيق للغاية.السكتة الدماغية 50 مم ؛
● حجم صغير للغاية ، ملف تعريف 122 مم × 92 مم × 18 مم ؛
● 50 نانومتر كحد أدنى للحركة المتزايدة ؛
● دقة تحديد المواقع المتكررة: ≤100nm ؛
● دقة صريف 1 نانومتر (1vpp) ؛
● الدفع المقدر 5N دفع الذروة 16N ؛
● دليل السكك الحديدية المستورد ؛
● الحمولة القصوى: 4Kg ؛
● حركة مستمرة سلسة ، عمر خدمة صناعي ؛
-
E-ABT-XY-360X360 (مرحلة المحرك الخطي الخزفي) مرحلة المحرك الخطي لمحمل الهواء XY
تستخدم نسخة السيراميك الألومينا عالية النقاء كهيكل عائم بالهواء وعناصر توجيه.بالمقارنة مع الجرانيت والمعدن ، فإن سيراميك الألومينا له معامل تمدد أصغر ، ومزايا الاستقامة والصلابة ومقاومة التآكل.
-
E-GLMT-XY (مرحلة المحرك الخطي عالي الدقة) مرحلة المحرك الخطي XY
● المحركات الخطية
● المحركات الخطية هي محركات كهرومغناطيسية مباشرة.إنها تستغني عن المكونات الميكانيكية في نظام الدفع وتنقل قوة الدفع مباشرة وخالية من الاحتكاك إلى منصة الحركة.تصل محركات الأقراص إلى سرعات وتسارعات عالية.المحركات الخالية من الحديد مناسبة بشكل خاص لمهام تحديد المواقع ذات أعلى متطلبات الدقة لأنه لا يوجد تفاعل غير مرغوب فيه مع المغناطيس الدائم.هذا يسمح بالتشغيل السلس حتى عند أدنى السرعات وفي نفس الوقت ، لا يوجد اهتزاز بسرعات عالية.يتم تجنب اللاخطية في سلوك التحكم ويمكن التحكم في أي موضع بسهولة.يمكن ضبط قوة الدفع بحرية.
-
E-EC-ABL-X أحادي البعد للهواء العائم بمراحل خطية دقيقة
تتبنى منصة المحرك الخطي من سلسلة E-EC-ABL-X طريقة سكة توجيه الهواء المحمل مع محرك خطي بقلب حديد ، والذي يتميز بالاستقامة والتسطيح لا مثيل لهما بواسطة قضبان التوجيه الميكانيكية التقليدية ، وهو مناسب بشكل خاص لمسافات الخطوات الصغيرة أو فائقة السرعة. سيناريوهات تطبيق تحديد المواقع بدقة.إنه اختيار تطبيق ممتاز للتصحيح البصري الدقيق والتركيب والمعالجة.
● دليل خطي محمل الهواء لديه تسطيح واستقامة جيدة جدا
● المحرك الخطي ذو القلب الحديدي يضمن صلابة كافية للنظام وأداء ديناميكي
● تشغيل هادئ ومستقر مع ضوضاء منخفضة للغاية
● تتميز بمستوى عالٍ جدًا من الدقة في الأداء
● مثالية لمسح التطبيقات أو تحديد المواقع بدقة عالية
● غرف الأبحاث متوافقة
● حجم منصة الحركة 210 مم × 100 مم
● يتراوح السفر من 200 مم إلى 500 مم
● الدقة إلى 100 نانومتر أو 1 نانومتر
-
E-LMS250GT-X (مرحلة التموضع الخطي) مرحلة الحركة الخطية أحادية البعد
منصة المحرك الخطية E-LMS250GT-X تستخدم الجرانيت عالي الجودة كقاعدة ، مع سكة توجيه أسطوانية خطية صلابة عالية ومحرك خطي بقلب حديد.
تُستخدم الماكينة ، ذات التسطيح والاستقامة الممتازة وسعة التحميل ، بشكل عام كوحدة أساسية لمعدات تحديد المواقع المتنقلة واسعة النطاق.
● قاعدة جرانيت ، صلابة واستقرار جيدان ، تسطيح عالي.
● سكة التوجيه الخطية بتقنية C-LUBE ، دورة خالية من التزييت تصل إلى 5 سنوات.
● محرك عالي الكفاءة ، غير متصل ، سرعة عالية وثبات عالي السرعة.
● سكتة دماغية ممتدة وسعة تحميل ممتازة.
● تسليم سريع بناءً على متطلبات إنتاج العميل.
-
مرحلة الحركة الخطية الصغيرة فائقة النحافة E-NLS60-32-1V-B NLS
● سلسلة NLS تتبنى محرك ملف صوتي مخصص بشكل خاص ، والذي يجمع بين محزوز عالية الدقة و
● دليل الدقة عبر الأسطوانة ، في Mini
● الحجم الصغير أيضًا له نفس الدقة العالية والديناميكيات العالية مثل سلسلة UMS.مناسب بشكل خاص لبعض سيناريوهات التطبيقات الحساسة جدًا للحجم.
● محرك دفع مباشر غير متصل ، دقة عالية وأداء ديناميكي ممتاز
● محرك بدون حديد ، تقلب السرعة أقل من واحد بالألف (جنبًا إلى جنب مع نوع محرك الأقراص المحدد ، وبيانات اختبار بيئة غرفة التجربة)
● سكك توجيه هادئة ومضادة للزحف لضمان التحكم بخطوات صغيرة
● عمر خدمة طويل ، استخدام بدون صيانة لفترة طويلة
