-
E-LMT-XYZ (محرك خطي عالي الدقة XYZ مرحلة المحور
مرحلة الارتفاع باستقامة ممتازة واستواء للحركةيوفر تصميم منصة المسرح الرأسي استقامة ممتازة وتسطيحًا ، مع ميل وانحراف أفضلالأداء مقارنة بمراحل التموضع الخطي المركبة عموديًا ، حيث يمكن أن يتسبب الحمل الكابوليالانحرافات في المحامل الخطية الداعمة.الحركة الخطية عالية الدقة مع المحركات المؤازرة الصوتية يتم تشغيل E-ABVT-Z داخليًا بواسطة محرك ملف صوتي ، مجهزمع سكة نقل عائمة بالهواء (يمكن أيضًا استخدام قضبان توجيه كروية متقاطعة) ، ويستخدم مقضب عالي الدقة للإغلاقالحلقة ، ومجهزة بمحرك عالي الأداء لضمان الحد الأدنى من الإزاحة والتكرارمرحلة تحديد المواقع.تحقيق أداء رائع.التحكم بالحاسوب والبرمجيات والبرمجة -
سلسلة E-NFZ240-Z (مرحلة المحرك الخطي عالي الدقة للمحور Z)
● ميزات التصميم
● مصممة للمسح والفحص عالي الأداء
● التحميل المسبق للهواء النشط على جميع الأسطح الحاملة للهواء
● توفر التغذية الراجعة للمشفّر الخطي دقة أقل من نانومتر
● صلابة عالية للأحمال الثقيلة وأداء هندسي ممتاز
● مع يسافر من 50 ملم و 100 ملم
● موازنة متكاملة
-
E-LMT145-Z (مرحلة بمحرك نانو عالي الدقة) مرحلة محرك خطي لمحور Z عمودي
● ميزات التصميم
● مصممة للمسح والفحص عالي الأداء
● التحميل المسبق للهواء النشط على جميع الأسطح الحاملة للهواء
● توفر التغذية الراجعة للمشفّر الخطي دقة أقل من نانومتر
● صلابة عالية للأحمال الثقيلة وأداء هندسي ممتاز
● مع يسافر من 50 ملم و 100 ملم
● موازنة متكاملة
-
مرحلة المحرك الخطي الإلكتروني وجهاز التحكم ELMT-MINIXY
تتميز سلسلة ELMT-MINIXY بأبعاد مضغوطة للغاية وأداء ديناميكي ممتاز ، ومناسبة بشكل خاص لأولئك الذين لديهم حساسية لحجم المساحة ، وفي الوقت نفسه ، من المأمول أن يكون لها ضربة أكبر وسيناريوهات تطبيق عالية الدقة.
-
طاولة رفع محرك متدرج بمحور E-SST160-Z50
● نطاق الحركة العمودية 25 أو 30 مم
● دقيقة خطوة إلى 100 نانومتر
● قدرة تحميل تصل إلى 6 كجم
● خيار التشفير الخطي للقياس المباشر
● محرك متدرج
● عبر القضبان الكرة
-
E-LMT-XY (مرحلة المحرك الخطي عالية الدقة) مرحلة الحركة الخطية للمحرك XY
● مدى السفر 100 مم × 100 مم أو 200 مم × 200 مم
● إمكانية التكرار أحادي الاتجاه حتى 0.3 ميكرومتر
● محرك خطي ثلاثي الأطوار بدون حديد
● السرعة إلى 500 مم / ثانية تزايدي
● جهاز تشفير خطي بدقة 4.88 نانومتر
● موجهات الأسطوانة المتقاطعة
● المحركات الخطية
-
مرحلة تحمل الهواء المحور الرأسي E-ABVT-Z
نطاق الحركة العمودية 20 أو 38 مم (1/2 ″)
● القدرة على التكرار تحديد المواقع إلى 10 نانومتر
● قدرة تحميل تصل إلى 6 كجم
● خيار التشفير الخطي للقياس المباشر
● محرك صوتي
● قضبان تحمل الهواء ، يمكن أيضًا استخدام قضبان الكرة المستعرضة
-
E-GLMT-XY (مرحلة المحرك الخطي عالي الدقة) مرحلة المحرك الخطي XY
● المحركات الخطية
● المحركات الخطية هي محركات كهرومغناطيسية مباشرة.إنها تستغني عن المكونات الميكانيكية في نظام الدفع وتنقل قوة الدفع مباشرة وخالية من الاحتكاك إلى منصة الحركة.تصل محركات الأقراص إلى سرعات وتسارعات عالية.المحركات الخالية من الحديد مناسبة بشكل خاص لمهام تحديد المواقع ذات أعلى متطلبات الدقة لأنه لا يوجد تفاعل غير مرغوب فيه مع المغناطيس الدائم.هذا يسمح بالتشغيل السلس حتى عند أدنى السرعات وفي نفس الوقت ، لا يوجد اهتزاز بسرعات عالية.يتم تجنب اللاخطية في سلوك التحكم ويمكن التحكم في أي موضع بسهولة.يمكن ضبط قوة الدفع بحرية.
-
منصة التسوية المتوازية ثلاثية المحاور E-TRI-R5
تصميم حركي متوازي لثلاث درجات من الحرية ، مما يجعلها أكثر إحكاما وصلابة من الأنظمة الحركية التسلسلية ، وديناميكيات أعلى ، وعدم وجود كابلات متحركة: موثوقية أعلى ، وتقليل الاحتكاك.
