تخصيص | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (سكة تحمل الهواء) |
نوع المحرك | ثلاث مراحل محرك بدون حديد | محرك ملف صوتي + |
دقة | الكمية الرقمية الافتراضية 100 نانومتر | 1vpp وصولا إلى 5 نانومتر |
الدفع الحركي | مستمر 60N / ذروة 210N | مستمر 60N / ذروة 210N |
الحد الأدنى لحجم الخطوة [نانومتر] | 200 نانومتر | 100 نانومتر |
السفر [مم] | 200 × 200 | 10 |
التكرار [أم] | ± 0.3 | |
دقة الموقف [أم] | ± 1 | ± 0.5 |
التسطيح [أم] | 10 ميكرومتر | 5um |
الاستقامة [أم] | 1um | 1um |
أقصى سرعة [مم / ثانية] | 500 ملم / ثانية | 30 ملم / ثانية |
سعة التحميل [كجم] | 5 كجم (المحور Z مع وزن توازن القوة الهوائية الثابتة) |