يشتمل التصميم المخصص أو المدمج لطباعة مرآة التوجيه السريع (FSM) على مرآة مثبتة على نظام دعم الانثناء الذي يميل لتوجيه شعاع الليزر أو مصدر ضوء آخر.تُستخدم مجموعة من مشغلات الملف الصوتي أو مستشعرات التيار الدوامي لتوفير الحركة الاتجاهية للحصول على دقة كاملة ووظيفة تشويش منخفضة.
يوفر النظام إما تشغيل الحلقة المفتوحة والحلقة المغلقة.لتشغيل الحلقة المغلقة ، يتم استخدام مستشعرات مدمجة عالية السرعة لتوفير نظام تحكم كامل في التغذية الراجعة.بفضل تصميمها المعياري ، تتيح FSM مزيدًا من المرونة في اختيار ركيزة المرآة وحجم الفتحة ودرجات الإمالة وإلكترونيات التحكم لتلبية أي متطلبات مهمة.
فتحة واضحة | 30 ملم | φ30 ~ φ50 مم | φ50 ~ φ100 مم | > φ 100 مم |
زاوية الحادث | 45 " | |||
نطاق الزاوية | ← ± 25 مراد | |||
حجم المرآة | φ60 ملم | φ90 ملم | φ 150 ملم | 《φ240 ملم |
دقة | 2 μrad | |||
عرض النطاق الترددي مغلق الحلقة | ≥600 هرتز (@ 1٪ سفر) | 300 هرتز (@ 1٪ سفر) | 150 هرتز (@ 1٪ سفر) | 100 هرتز (@ 1٪ سفر) |
Stap Responsa | <1.5 مللي ثانية (@ 1٪ سفر) | <3 مللي ثانية (@ 1٪ سفر) | <5 مللي ثانية (@ 1٪ سفر) | 10 مللي ثانية (@ 1٪ سفر) |
التكرار | 2urad ~ 5urad | |||
درجة حرارة العمل | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||
درجة حرارة التخزين | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||
مضاد للاهتزاز | جي جي بي 150.16A-2009 | |||
مضاد للتأثير | جي جي بي 150.18A-2009 |